请教:镀过AL了,机器抽不动了? 

2010-4-6 18:02:37 | 显示全部楼层 | 阅读模式
我这边的机器是700的,以前抽速很快的,最近镀了几罩铝以后,抽到1.0E-2就抽不动了,机器刚刚洗了还是这样子,请问是什么问题呢?
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ftz1981
2010-4-6 19:05:12
是不是保养得不好啊 如果没有漏点的话有可能是扩散泵油氧化了 没办法拆扩散泵换油。
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gb936
2010-4-6 22:59:02
漏
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2010-4-7 10:49:46
漏最大的可能~~~~~~~~~~~
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sunyan
2010-4-7 11:00:54
跟镀什么，好像没太大关系，有可能是漏气了，要不然就是扩散泵油氧化了。
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2010-4-7 15:04:12
扩散泵应该没问题的饿,因为冷井附近的电离规测得真空还是正常的
要说漏气,我没动过什么地方啊,无原无故怎么会漏气呢?
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gb936
2010-4-7 15:14:09
本帖最后由 gb936 于 2010-4-8 11:35 编辑

回复 6# holdout@163

活动和密封的部分检查一下，动密封，电极密封都看一下
别忘了看一下真空规管是好的吗。
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2010-4-7 19:51:28
应该有漏吧，找漏挺烦人。
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qjy
2010-4-8 13:26:46
可能是漏气了，要不然就是扩散泵油氧化
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2010-4-8 22:01:31
楼主问题解决了吗？
不知你是怎么清洗的，清洗液进镀膜室了吗？是的话就把门封条下面的一段拆下，用酒精擦洗。
很多镀铝的厂家清洗时，清洗液都流到了门封条里了，干了就漏气了。我碰到了5台了，都是南光700，800机。酒精一擦什么都好了。
进口机就没有这种情况。国内的厂家应该用心做啊。。。
有效果的话，楼主就回复一下啊。。。。。。
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jakzhou
2010-4-11 03:19:55
可能是漏气了，要不然就是扩散泵油氧化
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2010-4-12 10:13:16
回复 10# 苏州膜头

谢谢这位苏州的朋友,我这边的问题已经解决了,的确是漏气 ,由于比较隐蔽一下子没发现出来,不过您的建议也不错,谢谢您!希望能交个朋友!
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