2010-6-8 08:50:42
我总觉得这个跟环境还有真空度关系比较大。。。不像基底腐蚀。。。
举报 回复
2010-6-9 10:28:40
确认一下真空计测量是否准确。
举报 回复
2010-6-13 12:12:33
发雾,没事
举报 回复
2010-6-14 14:38:50
整个表面都是白的,没法使用呀。
举报 回复
2010-6-18 16:35:18
ZK9也很容易出现这样的白雾,不知是为何?
举报 回复
2010-6-22 08:29:04
那就是材料问题,就是光学加工的问题了
举报 回复
2010-6-22 13:51:13
材料和基片在别的机器上都是没有问题的!
举报 回复
2010-6-23 08:56:16
是不是一块一块的
举报 回复
2010-6-28 16:07:11
是环形的,
举报 回复
2010-6-29 08:09:31
如果同样的材料在其它设备镀没问题,那就是你设备电子枪\离子源的问题了
举报 回复
2010-6-29 18:35:37
楼主的问题解决了吗?

镀膜前清洗和镀膜腔的洁净度,真空度有很大嫌疑啊。
举报 回复
2010-7-1 08:48:53
我们也怀疑真空有问题,但是检漏没有发现有漏的,而且真空显示是好的。
举报 回复
发新帖
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则