2010-6-3 18:15:47 | 显示全部楼层 | 阅读模式
用一台很老的DM-450C型真空镀膜机,机子估计已经用了很久了,期间还烧过一次。。。
早上用机子的时候还不错,但是下午镀的时候一开始是开高阀没有用,气压一点也不动。
关机,重新启动,高阀开了,可以用了,但是抽到4E-3Pa的时候就抽不动了,而且过了几分钟后气压开始上升。
而且没有顶的,一直在升。
很奇怪,要是漏气的话应该顶多就是抽不动,怎么会气压还会上升呢?
请教各位大哥!
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2010-6-4 16:04:58
啥是烧过一次???
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2010-6-4 16:31:32
很可能是高阀出问题了,高真空状态下关闭高阀真空度就会一直缓慢下降
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2010-6-4 16:46:07
DM450...
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2010-6-4 20:52:55
拉杆切换出现问题的可能性最大,其次就是储气罐
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2010-6-29 20:28:31
关闭相应的阀门,看看真空度变化情况。
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2010-7-13 18:51:49
1.漏气;
2.漏水;
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2010-7-15 09:11:10
有可能扩散泵有问题
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2010-8-10 21:48:40
请高手指点,我也在学习中。。。。。。。。。
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2010-8-27 23:26:34
扩散泵过热。把炉盘降低些试试。
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2010-8-28 12:14:22
将机子拆了吧,这么老!
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