SiO2 中频溅镀时通入N2作用？ 

2010-9-9 12:02:34 | 显示全部楼层 | 阅读模式
SiO2 中频溅镀时通入N2作用？
为什么中频磁控溅镀 SiO2 通入N2. 有什么作用？请教
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2010-9-13 22:12:56
没人理会哦
留下邮箱，静待您的指教stone.zheng@hotmail.com
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banchao
2011-3-10 15:38:57
使用的什么靶材？SiO2陶瓷靶？
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2012-4-22 22:25:34
学习
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