AR膜层存在暗斑是什么原因造成的呢？

ji8022 · 2010-10-12 19:25:28

各位前辈或专业人士，我在做AR膜（nb/sio2）的时候，成品检验发现膜层里有点状的暗斑，对光源或射灯检验看不到，只有反射检验看得见。台阶仪检测膜层，表面sio2比设计厚度减少50nm。
清洗已做排查，箱体清洁也重新处理了，那位经历过请帮忙支招，先谢啦。

andybim · 2010-10-27 21:16:30

先要确认是膜上还是膜下，有核还是无核，膜下的透光看无光晕，反光有光晕，显微镜最容易判断，如果是膜下异物，一般是清洗的问题

ji8022 · 2010-12-25 14:05:00

谢谢指教，应前段时间出差，未能回复，抱歉。

wlinliu · 2011-1-31 07:15:41

镀膜速率大约是多少？若机器已清洁干净，考虑是否速率的影响，离子源功率太大也会出现这种状况的

chaqing88 · 2011-2-10 14:54:02

1.判断是否是清洗的问题，清洗后最后的纯净水是否OK。
2.镀膜的离子源中和电流是否偏大，镀膜速率是否正常
3.膜料有否受污染，是否受潮，坩埚旋转时，是否有混料现象
4.光斑是否打在坩埚外等
5.腔体清洁时是否有异物带入
6.是否有泵油漏入腔体
以上是个人的经验，仅供参考

xcy1075 · 2011-2-13 21:22:49

暗斑是长什么样子的?

JINFENG215107 · 2011-3-12 23:04:49

楼上的你真厉害

mxbplayboy · 2011-4-5 16:53:39

斑孔，不清洁

huyxin · 2011-4-6 22:54:53

最新日本进口AR膜溶液，联系huyxin@sina.com

木口 · 2011-4-7 15:42:25

ji8022 · 2011-4-29 04:04:58

谢谢各位的帮助