磁控反应溅射采用石墨靶如何制备氮化碳薄膜

ji8022

如题，本人最近实验在20sccm和50sccm流量下镀制氮化炭薄膜，但颜色为咖啡色，酒精擦几次就掉膜。再加温250°C条件下，同样。那位高人能指点一下吗？先谢了！