请教一个镀膜问题

方舟

各位学长：
  我在镀制透镜时发现不时地在膜层下出现大量密集小点子，只能透过去才能看到，并且一直以来在镀膜面上总有一小部分工件上有印迹。各位能否给晚辈指点迷津？谢谢！

ic5

对不起，这个问题大家好象都没有见过，你在等一段时间。
我自认为：如果镀前用离子源轰击，请注意离子源表面的清洁程度，若不用离子源轰击，那请注意透镜自身表面质量！

shanyu

可否告知你的机器和大概的条件，使用的是什么材料？
也许我可以试着帮你分析……

chenchen

如果是整罩，这是镀膜工艺、过程中的问题。如果是只有几片有并且点子的均匀性不明显，可以检查清洗的问题。

xm61599

我以前也遇到过，你用的是什么材料，以及什么蒸镀方法

hakuto

加装离子源可能会改善质量。

hgw2001

我觉得大家现在对离子源陷入了一个误区。离子源可以提高膜的清洁度和膜层的劳固度。但是如果你的离子源功率过强时会把膜层打成一点点的麻点。所以在使用离子源时要时刻注意离子源的强弱情况。出现印子可能是擦试的问题。也可能是你的擦试剂的配比不好。

火龙

这种小点子好像在使用离子源时就存在

Jesus

有没有人试过不用离子源轰击，只用比如烘烤的方法做出来的膜层中是否存在这些小点？

Portia

你采用的是什么镀膜方法？离子辅助沉积？基材是什么？

hgw2001

我想知道你的膜料是否经过预熔。预熔的效果怎么样。膜料的预熔很关键的。如果熔的不好的话在镀膜时它会放出大量的气体。这样会引起溅射。也会引起麻点。

Portia

看一看印记在不同工件上的位置是否相同？蒸发源挡板工作情况如何？还有就是真空室内的清洁程度，室内有没有放气较大的元器件。