有谁做过软边光阑的经验

likeoe

请教镀膜高手，如何实现一个正方形的软边光阑，具体的说是在一个直径50mm内有一个25×25的正方形，在正方形的内部是R＞99%的高反膜，在外部是R＜0.5%的增透膜，过渡区要求0.5mm，在过渡区内要求R的变化是渐变的，即从R＞99变化到R＜0.5不能突变。如何做一个机械掩膜实现这个功能，请高人指点。

likeoe

孤独呀

stonetiny

楼主，你好，不知你是否还经常看这个论坛，我现在也需要这样的软边光阑，就搜出你这个好久之前的帖子，回复一下，希望你能看到，或者有同行能看到，可以给予指导。谢谢

zzzz

过渡区域的要求有点...............
没人可以测的了,没实在意义
能解释下渐变要求在实际中的应用

stonetiny

楼主的要求我也不太理解，不知道他主要做什么用。我的要求，是中间透，周围反，这样类似与一个光阑，可以消除衍射吧。

ds1234567

我画了一张图，镀高反时镜框是25*25的，你可以在框和镜片之间加1毫米厚25.5*25.5框，目的是使蒸发介质钻进一部分，1毫米厚度可根据效果调整，也可以外薄里厚，到25.5时间隙到零。

ds1234567

在97年第3期 ‘光学技术’上有1篇“超高斯渐变反射率激光反射镜”，述说了这种方法。
文章说1.06μm反射膜是在北京DM-450上，蒸发源距基片25cm，真空度3*10-3pa，电子枪6kV，束流70mA，膜系设计的基片1.52，双层增透2.05 和1.45，渐变厚度膜2.05。又说“为获得膜斑直径较小的渐变厚镀膜，常用中心带小圆孔的固定挡板技术，利用小孔变缘对膜料粒子的散射而造成的 ‘阴影效应’在基片上沉积出中间厚，边缘逐渐变薄的渐变厚镀膜”

zzzz

做渐变膜多是应用遮挡\阴影
但楼主问题的关键是根本没发测试,谁能准确测试0.5区域的渐变

maomimi

如果只是边缘部分要满镀高反膜，中心不镀。这样的话工装怎么实现？