H4讨论

ofeiying

充氧量对含有H4的膜系有什么影响,影响有多大?

gaelicjzero

h4是什么？f4我到知道。告诉我好了。

kingman

我用过！但是，因为是新手上路，还不是很清楚，不好意思。哈哈：）

楼细雨

H4其化学式为：LaTiO3

wcb674399566

良哥

一、H4膜料的特性

成分 钛镧混合物
外观 1-4mm的黑色颗粒
密度 5.9g/cm3
熔化温度 1800℃
沉积温度 2200-2300℃
沉积源 电子束
坩埚 铜或钼
氧气压力 0.8-2×10-4
沉积速率 0.2-0.8 nm/秒
基片温度 大约30-300 ℃

二、H4膜层的特性

基片温度 大约30℃ 300℃
500nm时的折射率 1.99 2.12
400 nm时的吸收 <2×10-4
吸收边缘 300nm
*吸收边缘是指在膜厚为270nm的膜层上,透光率为80%的波长。  

三、折射率的散布

基片温度 散布公式
大约30 ℃ n=1.887+25410/波长2
100 ℃ n=1.982+29820/波长2
300 ℃ n=2.009+28880/波长2

haitao1573

长知识

Martin_Ko

学习

killjackson

充氧对紫外端影响大，红外不大。
有离子源的话5-25SCCM，根据自己的机器调整