[求助]哪位大虾能告诉我激光造成光学薄膜损伤的机理

风雨夜归人

    可能这个问题有点基础，不过我找不到系统介绍这方面问题的书籍或文章，还望各位不吝赐教。小女子在此先谢过了。

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有的膜料是受不起激光的照射的,主要是激光的能量问题,所以这样的膜常用抗激光膜料.

Jesus

一般来说激光损伤都和膜层本身的瑕疵有很大关系.
比如因为膜料的喷溅或电子枪、离子源的打火造成的膜层表面溅点、大颗粒等，当大功率的激光通过时都会对该处造成损伤。
另外，膜料的选取也很关键。尽量选择吸收小的膜料做为高功率激光膜，可大大提高膜层的激光损伤阈值，从而达到好的抗激光损伤的效果。
现在抗激光损伤很多人选用ZrO2和SiO2的膜料。你可以再查查相关方面的资料。有些介绍的很详细的。

weilian

可以在万方据库里查一下，我记得里边有一些文章的。

coating

薄膜激光损伤的机理很复杂，但是主要是薄膜中的微缺陷造成的。如结瘤微缺陷就是其中最主要的原因。另外膜系设计也有关系，设计的薄膜是驻波场的峰值最好别在膜层界面处。这方面上海光机所薄膜中心多年都从事这方面的研究，你可以和他们联系。另外美国劳伦斯利福摩尔实验室对这方面研究也很多，你可以登陆他们的网站看看。

ofeiying

本人认为
抗激光损伤的机理主要是尽可能降低膜层对激光能量的吸收
如果膜层对激光能量的吸收较大，那么激光强大的能量就会导致膜层在物理和化学上的变化，从而使膜层特性改变，甚至使膜层损伤
不知对否，请指教！

chenchen

应力的不同、膜的粗糙度也会造成激光对膜层的破坏

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固体激光工程里有部分是关于这方面的。

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激光造成薄膜损伤原因是多方面的，主要有：
1、光学基底制造不良。2、清洁处理不当。3、蒸发技术不佳。
  还有：真空度、真空气氛、基底温度、膜料纯度、速率、烘膜处理等都对阈值有影响。膜料的匹配和膜系的层数以及膜料本身的吸收对阈值影响也很大的。
  选好膜料以及相互间的搭配很重要：一般高折射率材料有ZnS,ZrO2,TiO2,PbO,ZnSe等，底折射率材料有MgF2,SiO2,ThF4,BaF2,CaF2等。
  另外膜料来源不同阈值也有不一样的：如ZnS有在26--298j/mm2..ZrO2有在33--114j/mm2之间变化的。

幸福时光

我的毕业论文就是这个题目，一字不差。
但已是三年了，你要吗？

feiyang

可以发我一份，我现在也正搞这个呢，yuechiying@chinaren.com

hacker

可以发我一份,TKS! hackerzhang@etang.com