[讨论]镀膜使用的氧气纯度？

yufe16fisher

标明为5个9的高纯氧纯度会不会有问题？
为什么镀膜时流量不变，几台机器都是这样，却失氧了？

hillybh

纯度不高，含杂质气体，对膜层性能有影响。