2011-5-20 19:06:30 | 显示全部楼层 | 阅读模式
我们的真空蒸发镀膜机用的是油扩散泵,镀膜完成后,腔体盘管除霜异常(除霜后过几分钟温度由40又降到了零下130度),结果整炉产品都脏污了,请问下是什么原因啊?
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2011-5-21 12:53:04
具体点,开真空室门时是多少度,脏污能擦掉吗?
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2011-5-21 13:00:43
回复 WENJINGREN 的帖子

开真空室门时盘管温度为-120度左右,脏污用吹不掉,没有试过擦拭,由于我们做的是小镜片,直接报废掉了。
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2011-5-22 12:52:00
先解决不除霜的问题。
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2011-5-23 00:09:35
回复 WENJINGREN 的帖子

不除霜的问题已经解决了,是因为隔离阀被冻住了。
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