光电工程师社区»光电社区 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 阻抗问题讨论

发新帖

阻抗问题讨论

2011-6-29 20:07:14 | 显示全部楼层 | 阅读模式

在DC sputtering时，有一个参数是Impedance范围0-10000，请问如果过程中如真空度过高或功率很低引起阻抗很大，意味着什么，会不会对电源有损害？

相关帖子

道具举报回复

暂无回复, 点我抢沙发!

3637查看0回复

© 2001-2026 光电工程师社区

手机版搜索鄂ICP备17021725号-1