镀IRcut 清洗过后裂膜

carpty · 2011-7-18 22:50:11

新机器调试，做的IRCUT 清洗后镜片出现裂膜现象，温度在245没有离子源。是不是温度太低？还是放气温度过高，放气温度在170度。

HGcoating · 2011-7-19 09:31:59

170度充气是高了些，最好有个离子源吧。估计你工艺参数还不成熟

carpty · 2011-7-19 17:59:14

充气温度现在降到130充气也会出现裂膜，我是充气后等了半个小时就用清洗机清洗，清洗的过程中没有出现裂膜的现象，烘烤完以后就出现了裂膜。是不是镀完膜以后放的时间短了，要放时间长一点，今天晚上试一下。

xiao2011 · 2011-7-19 21:31:21

170度不高

ghtzna · 2011-7-20 00:23:44

靶材机台真空度为多少镀膜速率还有你的工艺参数需要show出来你的膜层是有问题的到时候环测会有问题的

sery1234 · 2011-7-21 08:58:31

呵呵，和放气温度影响不大，最多影响点表面质量，200以下放气应该都没问题

sery1234 · 2011-7-21 09:00:03

我想是你膜层的应力问题，至于是哪个工艺参数引起的，我把你怎么做的，像5楼说的，大家好帮你参谋下。

13505171760 · 2011-7-21 15:21:57

fasces9 · 2011-7-25 11:37:23

我觉得与工艺参数有很大关系，应该是应力问题造成的，产品出来弯曲厉害不，产品厚度多少？镀多少层膜都有关系

yufe16fisher · 2011-7-25 11:49:11

气充多少？

carpty · 2011-7-25 20:14:58

谢谢各位大大，问题已经解决，就是降温前恒温5分钟。

guhua530 · 2011-7-25 21:16:35