请高手帮忙指导霍尔离子源出现的问题

zhaicq0317 · 2011-7-19 18:35:12

我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定，阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定，正常情况下气体通入是从最大设定值开始，然后慢慢减小到所需要的数值，但现在是从最小的数值开始，慢慢增大到所需要的数值，而且有时气体慢慢减小到零，气瓶内的气体压力还很多，查了很多地方，还是没有解决，请高手帮忙指点一下。谢谢！

john03062003 · 2011-8-4 10:06:43

离子源有保养过吗？