先用He检漏仪看看有没有漏气;如果没有大漏还是抽不上去,那么就用RGA(质谱仪)看看是什么在真空室里,可以区别开是漏水还是冷阱漏气;如果还是没有发现,那么告诉你,你很幸运,你的扩散泵油可能坏了:)
还是用酒精吧,便宜。
一般是先用乙醚或丙酮打真空室有可能漏的地方,这样来检漏,成本低
但它的效率也是相对低的。若实在无法排除故障,就得考虑用氦气检漏仪了
有没有了解RGA的?
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