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Leybold和其他的公司产品的不同点主要是离子源有些不同:
1. APS是热阴极的离子源;
2. APS的发散角更大,离子源覆盖的范围比一般的离子源大,离子源的能量大;
3. 比较容易调节发散角;
4. 工艺参数调节比较复杂
非常感谢eaglel兄,我看APS的离子源也是无栅的,原来有此特性,谢谢交流。
能够简单介绍一下离子源的栅吗?
对啊,虽然我不是搞Leybold机的,但是对离子源还是比较感兴趣的!能说来听听吗?
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