镀膜波长偏长是怎么回事？

Jimmy_tang

我现在是在石英上镀介质增透膜，使用光控仪测厚，设备有点老，单色仪我确认了没有问题，镀出来的曲线形状没有问题，但波长总是偏长100nm或是更长，究竟是怎么回事啊？谁能给个建议？

Jimmy_tang

我想过，波长偏长的原因，自然是每层膜的厚度都偏厚了，但是这样的话，光控仪记录的是极值的变化，因此光控仪本身不会造成这个问题，那么唯一的理由，应该是参考波长偏长了的缘故。可是我用红光激光器校准单色仪的时候，波长偏差不超过1nm啊。这究竟是怎么回事呢？

懒得糊涂

1，光控片与石英片的位置不一致，高低，角度都有影响
2，光控片与石英片材料是不是也不一致，这个好像也能带来点误差
3，光控本来就慢半拍，需要点提前量吧。
以上仅从数学上分析，供参考

otxtc

tooling

Jimmy_tang

懒得糊涂 发表于 2011-9-8 17:37
1，光控片与石英片的位置不一致，高低，角度都有影响
2，光控片与石英片材料是不是也不一致，这个好像也能 ...

谢谢懒兄的回答，但是我这设备并不是一开始就是这样，而是大约2年前开始出现的问题，而同一种产品已经连续镀了5年了。
因此您说的提前量都已经有所控制的，但现在的提前量已经失控了。

据说两年前突然有一次找不到光，然后就一直这样的（我可是今年才来的这个公司）。

我也想过光控片没有放正的可能，但光控片斜了的话，实际镀出来的应该偏薄而不是偏厚吧？而且要偏100~200nm，那得倾斜多少啊，我镀的是980nm的光。

想到最后，我发觉比较合理的解释，就是实际进入的波长偏长了，是不是呢？

Jimmy_tang

真晕，试镀了几次，波长偏差越来越长了。我加了挡板都没用。

Jimmy_tang

我想不出原因啊。。。。总不能是我的分光光度计波长坏了吧？

WENJINGREN

温度、真空度、挡板位置、镀膜过程中有没有变化

Jimmy_tang

没有啊，都没有变化的。如果有变，镀膜曲线的形状就会变了。

xiezhizhi188

看看颜色有没有差异
如果没有可能是分光仪的问题了

xiezhizhi188

建议分光仪做一个波长精准度的测试

Jimmy_tang

颜色没法看啊，偏差太小，根本无法分辨差异的。而且，问题是出在一次镀膜机发生异常之后，所以应该和分光光度计无关啦。