Veeco Mark II 离子源的一个问题？（希望大家能帮我支支招）

wlinliu · 2012-1-30 00:01:27

充氧气是会出现波动比较大，氩气应该不会

神州八号 · 2012-2-8 09:08:13

多为接触不良

Guoyl · 2012-2-9 13:59:04

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xiao2011 · 2012-2-11 02:32:01

魅力薄膜 · 2012-8-24 02:38:37

lkai1014 · 2012-8-24 07:56:55

学习

曲终人散 · 2012-8-24 10:39:52

气体分配板的问题

Aaron-Lee · 2012-9-4 14:14:00

學習..

wuyongren031 · 2012-12-3 21:15:01

我认为充氧阀漏了，我也碰到过，或是你的氧气瓶在漏，这样进去压力或高或低，造成中和不稳定，造成离子源工作不稳定。

ouyuu · 2012-12-5 23:06:36

MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司，后来卖给了VEECO。

你用的MARK II是空心阴极的源还是灯丝的（看描述像空心阴极的）
看起来像打火，估计是充氧导管没装好。
（充氧口到护板必须装导管，防止氧气进入护板和真空室壁之间）
空心阴极中和器只使用氩气，要注意纯度，最少5个9，
气瓶装好后开阀门之前要先将管路全部抽真空

相伴/sun天涯 · 2012-12-6 14:44:14

ouyuu 发表于 2012-12-5 23:06
MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司，后来卖给了VEECO。

你用的MARK II是空心阴极的源 ...

MARK II空心阴极我们公司也有一台现在就不用了上次就是氩气不纯导致阴极烧掉，一个空心阴极要好几千块钱。现在都不用了，，这种空心阴极能不能改成灯丝的。、

chao_li0622 · 2012-12-6 19:03:45

学习

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