折叠式光刻物镜 

2012-2-14 22:08:17 | 显示全部楼层 | 阅读模式
在原有的专利基础上，对物镜进行了简化和修改，并实现光路折叠。
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2012-2-14 22:09:10
提供光路仿真模拟，报告书写。
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2012-9-27 22:17:15
欢迎交流 合作。
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2013-8-31 23:59:08
学习一下
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2014-4-6 21:05:35
guochengzheng 发表于 2013-8-31 23:59
学习一下

谢谢  常交流
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