又来了一个镀膜问题，最近总是接二连三的，求助求助。先谢谢大家对上个问题的帮助，谢

xiaohuilee

自从机器的漏水问题修好后，换了新的TI3O5硬壳。坩埚也重新校准后，现又出现了新的问题
1.TI3O5速率始终上不去，我的机台是水晶控制电子枪功率的，导致功率上升过高跳了，且还是上不去。XTC报警。报警问题是 xtc异常（STOP).更换新的也没有作用。
2.我将真空度调整了，将TI3O5的调整镀膜电流为1.6810-2pa，可是镀了两炉都没问题，第三炉又是上述报警。SIO2没有问题
3.镀膜的时候也将光斑调整没有问题。

请问专家们，我的机器到底是哪里出现了问题。
这是上一篇问题的求助http://bbs.oecr.com/forum.php?mo ... mp;page=1#pid973412
先谢谢专家们无私的解答。

xiaohuilee

镀膜真空是1.6*10-6pa 不好意思

xiao2011

镀膜真空是1.6*10-2pa吧？

xiao2011

是不是你的电子枪水冷没开

shuangzixing

检查电子枪还有电子枪水流和灯丝位置

xiaohuilee

xiao2011 发表于 2012-2-22 08:30
是不是你的电子枪水冷没开

不好意思 打错的 是1.6*10-2pa
经检查电子枪冷却水没有问题，而且还疏通了冷却水管

xiaohuilee

shuangzixing 发表于 2012-2-22 11:32
检查电子枪还有电子枪水流和灯丝位置

都检查过了 没有什么问题 就是找不到具体原因所在

wazxq

很明显枪的问题，看看哪接触不好

446834285

在IC/5新增一个TI3O5，然后替换掉原先的TI3O5，试试看。。。

xiaohuilee

谢谢大侠们，现在问题已经解决了。