SQC310速率不稳

kingpeter · 2012-4-21 22:12:17

冷却水温度20度上下

otxtc · 2012-4-22 11:58:06

1. 出现速率异常跳动后，厚度有多大影响，那罩膜还能成功吗？
2. 20度是不是有点低.
你在网上搜索 "SiO2 TiO2 应力"，会找到浙大的一篇文章，介绍了温度对膜层应力的影响。

kingpeter · 2012-4-22 21:56:00

每炉的特性OK的，感觉在成膜中修改参数PID及POWER等似乎不起作用

xiaozhou · 2012-4-23 17:54:42

我们也遇到过，英福康工程师确认是连接线受潮了。你可以问问英福康的专业工程师

kingpeter · 2012-4-23 17:58:09

非常感谢！能否告知一下联系方式？谢谢

shuangzixing · 2012-4-23 20:11:29

JINFENG215107 发表于 2012-4-20 14:16
不会是哪里漏把

速率不稳和漏气没有关系的。和PID 和材料的平整也有关系的
还有就是我们上次把探头里的两个铜线拆下后发现也有松动的情况

tfc · 2012-4-24 08:48:10

特性OK不代表曲线重复性，如果重复性也OK，你就不要再查了，因为原因很复杂，还很深奥，你能查出来，可以去制造镀膜机了，肯定好用。如果已经影响重复性，一般与间歇性微漏有关，如果曲线变得很厉害，证明漏气了，你可以试试，拧松一个密封，使其半漏不漏，一般用夹根头发丝。。。
如果你可以列表连续十炉以上镀TIO2、SIO2从电子枪启动到出现不稳定时的准确时间，2个要分开列，我可以帮你分析

jasmine131415 · 2012-4-26 15:03:18

导致速率不稳，可能有以下几个原因：

1.参数设置不稳定 PID
2.温度不稳定
3.探头保养不良。接触电阻不稳
4.源电子抢的问题
5.晶片表面污染
6.镀膜工艺（高应力—高速/低温)

对应检查过来，希望能帮到你...

E501559 · 2012-4-27 08:31:56

检查一下晶振和电子枪试试；........共同进步！

kingpeter · 2012-4-28 09:29:13

非常感谢各位的指点和帮助！我再仔细确认下！

jxxjlw · 2012-5-1 14:30:00

是PID数据没调试好!你慢慢调试,即可,此情况排除了
硬件问题!希望可以帮助你!

kingpeter · 2012-5-2 09:31:15

谢谢各位啊！

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