求助，镀膜后麻点！！！！,光学镀膜技术及膜系设计

fibercoating · 2012-4-27 14:48:46

我也感觉TI3O5有问题，熔料的时候喷的厉害，另外充氧口是对着坩埚边上的，会不会是氧气把坩埚盖板上的脏东西吹起来

新手求教 · 2012-4-28 12:17:30

出现麻点是因为膜料的问题

强子 · 2012-4-30 20:29:18

楼主留个联系方式吧

jasmine131415 · 2012-5-3 10:30:15

学习中....

weifnafly · 2012-5-4 22:37:02

公司没用过国产机

ghtzna · 2012-5-6 07:05:53

我觉得这种不正常现象和TI没有关系，因为不是每锅都有建议定期将你的坩埚周围使用酒精擦拭避免在镀膜前预融时有杂质被电子枪轰击上去

zouyou828459 · 2012-5-6 12:49:24

这就是用离子源用不好而出现适得其反效果的原因，从图片上的的分析可以看出，此离子源的功率应要减少，因为那黑点都是TI3O5的吸收斑，我们知道离子源它能够起到一定的催动有吸收性膜料分子的与氧分子的结合能力，而且能增加膜料分子的致密性，当离子源功率太大时，蒸发上去的吸收材料来不及与氧分子结合就被后的膜产分子覆盖掉而出现例如黑班，黄班等等，所以离子源的楼主使用还得好好研究研究啊

fibercoating · 2012-5-9 11:59:00

强子发表于 2012-4-30 20:29
楼主留个联系方式吧

tadmarine@gmail.com
qq:277204240

wdydede · 2012-5-10 01:19:06

AR膜用到TI3O5，学习下

royyang · 2012-6-13 22:09:09

离子枪或是电子枪问题吧

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