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LEYBOLD70年代研发的A700Q/900QE镀膜机采用的是180度电子枪,90年代的APS系列镀膜机更新为270度电子枪,其相比有两点关键性不同;
1.当蒸镀时材料非常容易溅入灯丝盘上造成灯丝短路损坏灯丝及引起打火.
2.由于灯丝发射出的电子部分必定要撞击已经蒸发出的材料及工艺气体,产生正离子,由于电子枪灯丝是负高压,故180度的电子枪灯丝非常
容易被正离子撞击,造成灯寿命表面缺损,大大减少电子枪灯丝使用寿命.
270度电子枪的灯丝固定在枪底部的侧面,回扫的正离子,由于质量远大于电子的质量,只能打到灯丝的下部
(抄自LEYBOLD论坛 light语 |
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