请教，薄膜湿热试验为什么会膜裂？

geyingji

chao_li0622 发表于 2012-11-20 18:43
是啊，不是自己镀的，怎么找原因啊

是啊，我也查了些资料，加上好多的回帖，也大概了解保证薄膜稳定性、抗潮的一些工艺要素。但主要不是让我找镀膜工艺导致薄膜受潮膜裂的原因（像衬底温度、离子源辅助之类的），是为什么薄膜受潮会膜裂，因为是我做得湿热试验，要解释这个现象，您能明白我的意思么，比如说是因为薄膜缝隙吸水后应力变大、还是说膜料会水解之类的。

LOUYC

还是工艺上的问题