2016-1-13 17:31:36
Si3N4可以用溅射反应镀出来。
要达到9H硬度,一个是基底硬度要够,
另一个是膜本身的硬度也够,还有个取巧的办法,
把表面粗糙度降低,比如镀防油膜。
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2016-5-9 10:08:18
Si3N4 一般是用磁控溅射  反应溅射Si +N2  = SiNx  做出的, SiO2 多层复合 做AR 膜。
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2016-5-9 18:06:41
都是高人

上海膜林科技有限公司 专业 晶控仪

点评

张博不点评一下吗?  发表于 2017-11-15 17:02
张博不点评一下吗?  发表于 2017-11-15 17:00
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2016-9-5 15:39:56
通常AR后再镀AF,铅笔硬度通常7H 以上、 蓝宝石上镀AF可达到9H。
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2017-6-18 16:35:53
huang12949 发表于 2016-9-5 15:39
通常AR后再镀AF,铅笔硬度通常7H 以上、 蓝宝石上镀AF可达到9H。

可以到7H以上?想请教下您的测试条件是什么样的呢?我现在手头有个产品3H一直未过,望指点迷津!
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2017-6-21 02:02:17
huang12949 发表于 2015-11-3 16:13
氮化硅,是不是白色颗粒状, 融料条件和SIO2差不多?但 我电子枪镀出来好像效果不咋的,请教氮 化硅,谢 ...

磁控机镀随便都能达到,蒸发机不稳定,也能镀呢。用ZRO2   SIO2全程轰击
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2017-12-11 20:05:10
主要取决于基底  好比你用蓝宝石来镀膜  应该差不多
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2020-6-11 16:55:39
膜料厂家来了,要买什么材料找我,自己研发生产的。178 7333 3033
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