悬赏问答
3回答 2646查看
悬赏 元光电贝
  提问于 2004-11-25 19:22:00

测量膜厚的仪器 :multiple beam interferometer or a stylus-type profilometer,是不是复合光束干涉仪,针尖探头表面测量仪的意思啊,测量膜厚是用他们测吗

主题回复
倒序浏览

2646查看3回复

2004-11-26 00:15:00

stylus-type profilometer 是用来测量表面平整度的

multiple beam interferometer 是测厚度的

举报 回复
2004-11-26 00:16:00
算是測膜厚的技術之一,另外橢圓偏光儀或是反射式光譜分析儀也可以測量膜厚
举报 回复
2004-11-26 16:43:00

平整度测定仪是根据光的折射原理制成。当一束平行光垂直射到某一均匀透明介质时,如果上下表面不平行,则透过介质的光线将发生偏离,通过光电效应使光讯号变成电讯号,在记录仪上自动记录下来,从而把玻璃表面不平整情况以曲缇形式表示出来。

stylus-type profilometer 是根据以上原理来测量吗

举报 回复
发新帖
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则