镀膜过程中速率不稳定

MorningTech

上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商, 关于晶控的任何问题，可与我司进行交流。
2016光博会09.06-09，深圳会展中心 7号馆，  7F43
欢迎现场交流，展会期间订单有价格优惠。

WENJINGREN

MorningTech 发表于 2016-6-21 18:19
上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商, 关于晶控的任何问题，可与我司进行交流。
2016光博会09.06-09， ...

您好！请教晶控问题。我们现在用的是英福康的XTC3，因为镀膜时晶体不良情况较多一直没有查到问题点，现在考虑更换晶控部品。想了解不更换XTC3的情况下可否使用贵司的晶控产品。如果可以能提供参考价格吗。谢谢，期待您的回复。

MorningTech

WENJINGREN 发表于 2016-12-10 13:00
您好！请教晶控问题。我们现在用的是英福康的XTC3，因为镀膜时晶体不良情况较多一直没有查到问题点，现在 ...

谢谢。
请与我司取得联系，方式见我司网站。可百度搜索 "上海膜林"。

上海膜林科技有限公司，专业于 膜厚控制仪的 研制。

MorningTech

WENJINGREN 发表于 2016-12-10 13:00
您好！请教晶控问题。我们现在用的是英福康的XTC3，因为镀膜时晶体不良情况较多一直没有查到问题点，现在 ...

我司晶控仪有个 不同于频率的 所谓晶振片损耗值参数，可以作为 检查晶体和探头的参考。
上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商

轩zjw哥

看看什么宝贝。。。。。。

轩zjw哥

没有高手吗？

MorningTech

轩zjw哥 发表于 2018-1-25 22:04
没有高手吗？

多高算高手呢？呵呵。

update

是什么问题呢？大家可以发表一下自己的意见。

charles2022

学习学习，如果每炉都有，探头的问题可能性大一点

huang12949

这么久了，楼主肯定解决问题了。
判断晶振片质量好坏，只能装上去机器抽真空到达高真空后，还没有镀膜也没有开离子源的情况下，晶振片速率稳定在0.5（越小越好）以下是OK的，超过0.5，基本上该炉无法正常镀膜。
楼主说的这种情况，大多楼是配件问题，比如振荡包拿其它机台上互换来进行判断。

MorningTech

楼上的 速率法是一种 判断方法，一般应在 0.5以下，根据经验来.

仪器（含振荡包） + 连接电路（含探头各组件）+ 晶振片
(1) + (2) + (3)
都有可能出问题。
即使装上去一切正常的， 也会有抽真空、加热以至于转动等 各种返油性物  粘附到晶振片表面，使得成膜不正常。
冷热变化也会带来连接异常。
膜林晶控仪，可以自检（检查仪器和振荡包）排查 第(1)种
膜林晶控仪，损耗测量 量测的是 (2)+(3)整体， 可以通过更换晶振片来 判断是否 （2）关系更大。

yong0009

关注，学习了