[讨论]Fizeau干涉仪是如何实现同步(simultaneous)移相的？

chuyuren

测量大镜（1－10m）很难机械隔离开被测镜与测试光路支撑结构；而且长光路还存在空气扰动问题；另外大口径轻质镜必须在真空低温环境下测量，振动无法避免又很难控制。传统的相移干涉仪采集4－5帧干涉图约需要120－150ms，意味着振动频率必须控制在0.5Hz以下，而大多数地板振动在20－200Hz范围，所以需要隔振。解决振动问题的根本措施是采用瞬时干涉仪(Instantaneous Interferometer)，它采用偏振技术，不需要进行移相，同时获得4幅相差90度的干涉图，因而极大缩短了采样时间。瞬时干涉仪完成一次测量只需要少到10us的时间。由于不需要移相，因此用瞬时干涉仪的另一个好处是可以通过扩束测量大口径光学表面，传统的干涉仪测量大口径零件时，如果将参考面（Transmission Flat，TF）放在扩束器前面，那么扩束器的面形误差会引入到被测面形结果当中;如果将TF放在扩束器后面，则必然要求对大口径的TF进行移相驱动，实现起来困难，必须要移相的瞬时干涉仪则不存在这个问题。
瞬时干涉仪发展迅速，代表性的产品有美国ESDI公司的Intellium H1000 干涉仪和4D Technology公司的PhaseCam。前者采用Fizeau构型，多CCD接收多幅干涉图，因而分辨率没有损失；后者则是Twyman-Green构型，单一CCD接收4幅干涉图，因而分辨率降低了一半。
同步移相的基本要求是分离参考光与测试光并使参考光的偏振方向与测试光正交。Twyman-Green构型容易实现同步移相，因为测试臂与参考臂是分离的，可以很方便地引入偏振；Fizeau构型的共光路特点，使得测量引入的彗差很小，但是如何分离测试光和参考光从而引入正交偏振是个难点。H1000实现同步移相功能的是一个I-Phase核心模块，其工作原理不知道有没有人了解？最近代理该产品的讯技上海公司搞了个巡回研讨会，请ESDI作现场介绍，不知道有没有透露相关信息？

fanfan735

是否还有这方面的资料？麻烦多介绍点。或者麻烦发到我的邮箱fanfan735@yahoo.com.cn ,谢谢

河边草

你想自己做吗？原理很简单，想通了就行，就是开发很难。想知道联系南京理工大学。

lxf0103

请教前辈,这移相的概念是!~~~还请能多多指教 lixianfeng31@yahoo.com.cn

河边草

移相又叫相移，就是干涉仪中双光束干涉时，两个反射波前的相位发生相对变化。一般是移动其中一个反射镜的位置（如用PZT移相器推动）。也可以通过偏振方法进行（同步移相），或使用可变波长的激光器进行移相（一般用在口径600mm的干涉仪上）。