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对于平面而言,干涉仪是可以测量光圈的,因为干涉仪本身提供了标准参考平面(即半径为无穷大的球面)。 对于球面而言,光圈数(N)表示被测球面曲率半径与其名义曲率半径的半径差,而干涉仪的标准参考球面的曲率半径只有有限的几种,一般不等于被测球面曲率半径,故无法测量N。而且,当曲率半径相等时,就变成了接触式测量了,这是一般干涉仪不允许的。接触式测量就是用样板看光圈了,其前提是样板的曲率半径必须准确(现在不少样板也不知准确不准确)。 干涉仪可以测量球面的局部光圈,即测量球面的不规则度。 干涉仪如果配上测长用的光栅尺,就可以测量曲率半径,精度大概能到10微米。 |