Daniel-Yuee

江老师的硅衬底外延现在都产业化了，好像?

Joshua.Xia

目前在技术上取代蓝宝石做衬底的材料很多 ，但如果要商业化，蓝宝石还是占有很大的优势。技术上ZnO、GaN衬底取得的效果都比蓝宝石好，只是成本比较高，一片2英寸的GaN衬底大概价格在1万美金左右，通常采用HVPE工艺生产，这个价格可是蓝宝石衬底价格的几百倍，而且其工艺复杂，对环境要求极高。

[ 本帖最后由 Joshua.Xia 于 2007-9-17 10:13 编辑 ]

yexk

成本也太高了噻

bluecrys

是上硅所在做碳化硅，上光什么时候做过碳化硅。国内做的说不错还谈不上