求助：间隙测量 

2007-8-20 22:22:48 | 显示全部楼层 | 阅读模式
除了干涉仪，还有什么办法实现两块玻璃之间的间隙测量，间隙范围在10个微米以内，误差最好在0.01微米以下
谢谢赐教
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