TA2O5性质

niechunyang

我镀膜时候有发黄现象  膜系 AL2O3  TA2O5   MGF2   TA2O5 充氧气135 SCCM  压力为0.02PA  无离子源辅助，但是镀膜完后，镜片发黄，基片 为防爆玻璃  N=1.46 请教师傅们给点建议

niechunyang

应该是这个才对  1M (HL)^8 (1.42H1.42L)^8 1.42H 0.65L

cl610

是做增透膜吗?我这两天也遇到了这个情况.是用流量计控制充氧量的吗?ta2o5预熔多长时间?

999520

TA2O5,最准确的冲氧量应该是多少？请指教

dwzgy

应该不是Ta2O5的问题
Ta2O5失氧很少

shjygx

黄能解决，不难                          。