VEECO机Al靶的工艺参数 

2008-8-12 08:40:07 | 显示全部楼层 | 阅读模式
哪位同仁有VEECO机的Al和Ti的工艺参数？
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ferry
2008-8-26 16:47:01
楼上的朋友,你们用的是VEECO的机器吗?是不是spector(IBD)离子束溅射系统啊.怎么联系.
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2008-8-26 20:40:54

是离子束溅射系统

是离子束溅射系统,您用过么?
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ferry
2008-8-27 18:12:17
想用这个系统做个AL2O3膜,不知兄弟是哪个单位,能联系下吗?
ferrylei@126.com
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nation
2008-8-27 21:56:10
要自己找，自己去摸才可/。
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