2008-10-20 18:57:19 | 显示全部楼层 | 阅读模式
各位前辈,本人操作的aps904离子源最近出现一个问题,
在碳棒和LaB6换了新的以后(已激活),旧的坏了,离子源出现放电电压不稳定的问题,变化幅度比较大,之前比较稳定。偏转电压比放电电压低30-40V(TiO2.  SIO2),之前偏转比放电高12V左右。
碳棒和LaB6新,阳极桶新,陶瓷部件旧,边缘变黑碳化,有略微磨损。
问题:
如何解决离子源不稳定现象?
陶瓷部件怎么清理?我们用银砂纸,但效果不好。
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2008-10-21 11:32:53
没人懂啊?高手出现出现出现
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2008-10-21 16:43:59
三个原因:接触、漏电、不清洁。
你仔细检查电极插脚座之间应该有石墨的残留物,彻底除去。
BN6用好的小刀轻轻刮除黑色。
装好电极,观察不可露出石墨。
执行解毒程序。
以上全部做一次,应该可以解决。
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2008-10-21 21:50:33
终于有人出现了,谢谢,谢谢
今天拆了下离子源,那个小的锥形BN6受损了,换掉。碳棒2角之间很干净,因为是新换的。清洁了一下,好点,放电电压平稳了。但是偏转电压还是比放电电压低,但不是低那么多,不知道这个应该怎么办?
前辈知道的话,希望能告知啊,
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2008-10-22 07:51:35
以前使用偏压就比放电电压低吗?我用的是APSPRO和你的那个应该有一点点区别,你所说的偏转电压,是不是指BIAS电压啊?在我们这放电电压要比偏压低才对啊,你们有没有尝试调节一些参数?例如气流量,线圈电流。
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2008-10-22 08:18:11
偏压是设置值,而放电电压应是动态值
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2008-10-22 13:05:23
原帖由 mangovc 于 2008-10-22 07:51 发表
以前使用偏压就比放电电压低吗?我用的是APSPRO和你的那个应该有一点点区别,你所说的偏转电压,是不是指BIAS电压啊?在我们这放电电压要比偏压低才对啊,你们有没有尝试调节一些参数?例如气流量,线圈电流。

回5.6楼,在以前的正常的情况下,BIAS电压比放电电压高十几V左右。BIAS电压应该就叫偏转电压吧?偏转电压和放电电压一样是受可控的啊,调节气体流量对放电电压和偏转电压的影响是一样的,同高同低。线圈电流一直是常数,没动过。
昨天发现LaB6的有氧化的痕迹,会不会氧化的原因?重新激活下会不会好点?
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2008-10-22 14:23:47
过了太多年了,都忘了很多,放电电流低就会升高电压。
总的来讲,没有实质性问题,都是可拆部分安装问题。
首先拔出石墨后,用强光手电筒照射内部,仔细观察两脚插座的缝隙内应该有脏物。
不然是镀银链的安装缝中有,
用锯片把石墨最薄处再锯一点。
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2008-10-22 18:34:37
呵呵,收到,明天再看看,谢谢
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2008-10-23 07:54:50
BIAS电压应该叫偏置电压,简称偏压和偏转电压是有很大区别的。3楼的TFC不是说,要解毒吗?其实我们一般把参数设置低一点,让APS点一会就解毒了。不过开真空室门记得开热水~~
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2008-10-23 08:24:37
看来楼主仍对APS源不了解啊
还是全部更新下阴极组件吧,看看是否正常
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2008-10-23 11:08:28
原帖由 zzzz 于 2008-10-23 08:24 发表
看来楼主仍对APS源不了解啊
还是全部更新下阴极组件吧,看看是否正常

.国企啊,机器到我手里什么资料都没有,都在摸索中前进啊,好机器都浪费了,让我练手了。悲哀啊悲哀。生产任务忙的时候,APS的部件一个月换一件,不是这坏就是那坏,没有正确的使用指导啊。反正是花国家钱都不心疼,要是在别的企业老板早毛了,呵呵
那位大哥有资料发给我一份吧,haisheng_0_0@163.com.谢个先
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