扩散泵反油的问题,光学镀膜技术及膜系设计

JZNT · 2009-4-14 15:29:53

谢谢各位的指点！！！！

wazxq · 2009-4-14 15:39:14

12楼说的比较全了再加一个油老化也会

xiu0214 · 2009-4-18 16:59:50

是不是冷阱設擋板計不好是一字型還是V字型，如是V 字型反油發生機率較小另再確認水溫及水壓力以上
供參考

ymrtgobn · 2009-5-3 14:14:00

关注.........................

JZNT · 2009-5-4 10:33:14

冷阱挡板是V字型的，油换了不到半年。

涛哥 · 2009-5-4 16:52:54

1.违规操作。
2.冷却水温度过高。

lukeoe · 2009-5-4 20:43:14

按你说的不应该这样的，期待答案.

JZNT · 2009-5-9 08:45:50

机器是自动的，不存在违规操作，冷却水温度合乎要求。

john03062003 · 2009-5-10 18:32:46

完全不返油的扩散泵是不存在的，无论你的冷阱做得多好，水温有多低，操作如何正确，都存在着这种状况，只是轻微与严重的问题，轻微的返油是允许的，影响也没有那么严重，但是严重的返油就要坚决避免了。

wxcad1 · 2009-7-26 19:18:57

有冷阱应该没事的,关建是没有堵，我们的这个就是

lukaiyan · 2009-7-28 19:24:34

前级真空不够，控制冷却水温度

终南子 · 2009-7-28 19:30:23

导致高阀下边有油污的原因比较多了