IC/5控制问题

zhangking

我们使用的是IC/5镀膜,用 inficon 6MHZ的晶振片。最近发现 200多nm厚的膜系在差不多的真空和温度下，有时候中心波长会跑40nm 以上。检查水冷正常，只是IC/5晶振头上压晶振片的陶瓷碎了一点。但是这个陶瓷碎了已经很久了，以前一般中心波长跑20nm以内。而且晶振片的寿命和活力我们一般都控制在3左右和550以上。新的晶振片装上去都是0/600多的。但是镀出来还是跑的比较多。
请问各位大虾有何高见？

zzzz

接触不好能没影响吗
换个新的试试

lunik

发现ZZZZ真是大师，一语到位，呵呵。接触不好，肯定是有问题的

zhangking

这个东西买个比较贵，因为是和晶振头一起卖的，谢谢ZZZZ
我检查过环形弹簧，指型弹簧，都很好，没有问题，难道就是压晶振片的陶瓷碎了点边的影响？

zhangking

顶下，求助。。。。。。。。。。

richjieyu

那个的原理就是，电磁振荡，压电陶瓷是起传递和转化信号的，影响是肯定有的。
但是你说的有时 就是意思 有时好，有时不好，温度均匀性看看，另外就是比较比较 好 和时候和不好时候 其他条件有什么不同，才能找出问题。如果是一直不好的话，那就是压电陶瓷有问题了。
此上仅供参考。！

Ion.source

要求精度越高,细节越重要. 镀膜就是这样, 要注意所有的细节.

xiazg

嘉兴晶控电子有限公司提供高品质的晶振片,适用与IC-5和DC360的机型15068338773夏先生

zhangking

那个的原理就是，电磁振荡，压电陶瓷是起传递和转化信号的，影响是肯定有的。
但是你说的有时 就是意思 有时好，有时不好，温度均匀性看看，另外就是比较比较 好 和时候和不好时候 其他条件有什么不同，才能找出问题 ...
richjieyu 发表于 2009-2-11 16:44

有时的原因是因为真空度不同，因为要大量充氧，所以没办法保证都一样的。郁闷

JZNT

用晶控来镀膜就是这样，不能保证波长的稳定，用光控就不存在这个问题了。你的变化太大，应该象上面几位说的压晶振片的陶瓷碎了，最好换一个试一下就可以判断，是否是这个原因了。

zzzz

做镀膜的悲哀
出了问题都跟老黄牛是的找工艺问题，谁让设备或配件都贵的跟老虎一样。

jhxxmlhk

用晶控控制物理膜厚是很准确的，中心波长左右漂移是光学膜厚变化了，也就是说膜料折射率变化了，再推上去就是真空度和充氧方式的问题。
建议你根据自己的机器选择固定流量或固定真空度方式充氧，日本机固定真空度，性能差点的机器就固定流量。
清机后同样的膜厚镀下来光谱会往短波跑40nm很正常。
sensor life用到 2 就要换了，越到后面就不灵敏了，会镀多。
温度也要注意点，冷镀的话需要保证10分钟的恒温时间（Delay time）。
镀膜起始真空度保持一致！
做仔细点，控制在10nm内没问题。我自己作业的时候连续镀三炉，反射光谱几乎都重合的，没漂移，呵呵。。。