悬赏问答
29回答 7445查看
悬赏 元光电贝
2009-3-3 08:38:03
我们不充氧的!
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JZNT
2009-3-3 10:08:22
用离子源吗？离子源清洗不干净也有可能
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2009-3-3 16:00:49
不用的,就是南光的700
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2009-3-3 16:52:06
扩散泵口有冷阱吗，会不会是扩散泵返油所致
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2009-3-5 08:33:12
有冷井的,我拆百叶窗看过了,没反油的!
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38368323
2009-3-5 20:17:47
把源换了吧，应该是这个问题了
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2009-3-6 08:26:05
好的,再看看吧
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2009-3-7 15:28:48
楼上的 你感觉南光机器好用吗？我用的是 500的，我们可以经常交流啊285525626
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2009-3-9 08:28:05
恩,好的,我也用过500不过不是镀膜用的,是熔料用的
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yjl827
2009-3-9 10:31:11
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999520
2009-3-16 18:40:50
将氧气换一下，将材料再换一下！应该是没有问题的！
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dbythy
2009-4-1 23:09:38
你是真空溅射镀膜吗?检查一下靶材?看一看清洗系统?
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