PECVD技术制备氧化硅薄膜 

2009-3-5 13:00:53 | 显示全部楼层 | 阅读模式
国外PECVD技术制备氧化硅薄膜光学性能研究 ？谁知道，谢
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2009-3-5 14:29:20
IEEE上应该有很多这方面的文章，可以看看.
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