我们的滤光片上面的SIO2颗粒太多了,是怎么弄上去的?

suixinnihaoa

滤光片(原板)镀膜后,发现有亮点和白点,(有时候还会有一层雾或者砂,),有高倍显微镜观察后发现是SIO2颗粒,有大有小,我想知道是怎么弄上去的,我们现在用的是国产的SIO2,是不是我们真空度/镀膜速度/烧药速度或者光圈大小/能量/电子枪冷却水之类的镀膜条件不适当产生的.谢谢大家,希望能给个建议.谢谢

ghtzna

电子枪牛角打磨没，机台脏不，备料时是否有污染，还有就是你速率是多少

jiayuch

显微镜能看出材料来？  难道显微镜有质谱分析功能？

suixinnihaoa

都打磨了,完全干净,药物是中国的,速度:SIO2-11,TI3O5-2,
我们用高倍显微镜观察(500倍)发现是白色的颗粒状,都是一个形态,分析是SIO2但是不确定,
谢谢大家帮助

lonely

你可以尝试把温度升上去看看

ghtzna

机台真空度怎么样？
有可能是脏污，是不是那种长条状的

suixinnihaoa

不是长条的,是圆圆的和不规则的小小的颗粒状,升高的是镀膜温度呢还是烧药的能量?谢谢

38368323

是源有沾污了吧，好好清洗坩埚，换新源吧

shaodong1311

镀膜机看来是有离子源了，我看是蒸发速率太快了，降到8看看。功率大引起喷溅！

suixinnihaoa

速度已经下降到6了,可是还是不行,我们已经每锅都认真清扫源,可是还是这样,现在都头疼.希望大家能给更多的建议.谢谢大家了.

lpma_2000

换药试试？

suixinnihaoa

换药,正在做,看看结果吧,谢谢啊,结果随后公布