2009-4-9 09:48:06 | 显示全部楼层 | 阅读模式
做溅射时,新靶材需要进行烧靶,请问为什么烧靶时打火会比较多呢?是因为新靶上有金属氧化物吗?如果是,为什么金属氧化物会打火比较多呢?是不是金属氧化时不均匀,导致打火较多呢?如果烧了一段时间后,靶变均匀了,打火就少了吗?
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2009-4-9 13:19:08
如果不打火那就不用烧了.............
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2009-4-15 15:59:41
我也用溅射的,shincron
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2009-4-16 11:17:14
1# fawang


什么靶?
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2009-4-18 23:55:11
正在啊学习中~尼,应该是不够清洁吧。
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