fawang

油扩散泵返油？ 

2009-4-11 14:33:45 | 显示全部楼层 | 阅读模式
若一真空腔有5个油扩散泵，如果同时打开扩散泵的高抽阀，前级管道的压力会上升，如果压力上升太多是否会引起返油？
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jkjkjk
2009-4-11 17:13:07
开高阀前要对真空室抽低真空,不抽的话油要氧化
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2009-4-12 10:16:28
前级真空要比腔体内的真空要高!!!!!!!!!!!
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