中频电源与射频电源的区别？

fawang

见过射频的离子源，中频的溅射电源，请问射频与中频的区别？仅是频率上的吗？有用于射频的中频电源吗？用于溅射的射频电源吗？如果没有，为什么离子源要选用射频而不选用中频的呢？溅射电源要选用中频而不选用射频的呢？