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EG和IAD本身成膜方式还属于蒸发,材料分子(原子)获得的能量上,EG最低,导致膜层致密度不高,散射和吸收损耗大,IAD辅助成膜,蒸发材料获能量要高,成膜质量要较EG好的多(当然,与所用的离子源种类也有关),是目前光学薄膜领域的主流制备方法,IBS(IBSD)在成膜方式上属于动量传递,与前面两者有根本不同,较前两者,材料分子获得的能量更大,所以成膜质量要更好,硬度和光滑度更好,主要用于目前高端的,要求极低损耗的激光膜等,相对而言,IBS制备方法,沉积速率要较前两者低许多,造价更高,但可控性,精切性要好。 |
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