2009-6-22 23:09:26
应该是基底没有清洗干净,或离子源功率太大了
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2009-6-24 23:47:34
离子源功率过大?
有可能是原因之一
我用的离子源是大电压小电流型的
但,我镀了1000nm
还是有针孔
不知为何
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2009-6-25 08:30:48
那就减少电压加大电流试试
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2009-6-26 22:21:27
电荷积累?????????????
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