膜层老是脏，咋个回事呢 

2009-7-31 14:33:02 | 显示全部楼层 | 阅读模式
最近镀二氧化硅都脏，咋回事
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zzzz
2009-7-31 15:21:23
脏
卫生没做好???????????????????
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2009-7-31 17:08:24
机器密封方面不好了估计
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2009-7-31 19:34:34
到底是膜上层还是膜下层，要具体问题具体分析
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2009-7-31 19:36:48
是膜上尘还是膜下尘？
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候鸟
2009-8-1 23:33:18
基片没清洗干净，真空室有异物，偶以前也遇到过这种现象。
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2009-8-2 10:20:39
如果膜上  就可能艙體髒   洩氣時造成的
如果膜下  就可能鏡片清潔不足 或是霉
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2009-8-8 22:28:19
不知道
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gxbm
2009-8-9 10:14:03
注意坩埚周围。。
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gxbm
2009-8-9 10:14:12
注意坩埚周围。。
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jiayuch
2009-8-9 10:16:09
用的什么设备？做得什么产品？什么膜系？
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jiayuch
2009-8-9 10:23:26
用的什么设备？做得什么产品？什么膜系？
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