这样的镀膜速率平稳性可以吗？

ferry · 2009-8-3 21:10:00

如题:
镀二氧化钛的晶控曲线，设定值为2A/S
上下偏差0.2，即1.8－2.2A/S，曲线如下。

ferry · 2009-8-3 21:13:08

不知道PID参数对速率有多大影响，一般按360推荐值是不是就可以
另，哪位大哥能简单一句话说明下P、I、D各用来表征速率的哪个方面，
比如P调节变化快慢之类。谢谢了。

sunyan · 2009-8-3 22:06:26

也很想知道啊！！！！！！！！！！！！

coaterxf · 2009-8-4 08:24:21

2A/s的蒸发速率做的好的话几乎不变！膜料要预熔好了。

zzzz · 2009-8-5 08:34:06

偏差0.2其实是设置的,也可以消除,让它成为一直线

qjy · 2009-8-5 09:48:09

呵呵！不要对它要求太高了，个人经验认为这样就够可以的了

mangovc · 2009-8-7 16:41:00

这个速率还算是挺稳定的。。。。。

lxjioi · 2009-8-8 11:16:34

比例（P）控制积分（I）控制微分（D）控制

参数整定找最佳，从小到大顺序查
先是比例后积分，最后再把微分加
曲线振荡很频繁，比例度盘要放大
曲线漂浮绕大湾，比例度盘往小扳
曲线偏离回复慢，积分时间往下降
曲线波动周期长，积分时间再加长
曲线振荡频率快，先把微分降下来
动差大来波动慢。微分时间应加长
理想曲线两个波，前高后低4比1
一看二调多分析，调节质量不会低

这样的镀膜速率平稳性可以吗？

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