默克M3 谁用过，抓7Q折射率分区不均匀

ghtzna · 2009-11-10 07:44:11

最近抓M3 参数，折射率各个区域不一样，是不是离子源气体参数所致，而且高温烘烤后会有脱膜
要不要放氧

zzzz · 2009-11-10 12:46:09

怎么说各个区域不一样??????????????????

ghtzna · 2009-11-10 21:47:23

回复 2# zzzz

O ,伞架上下区不一样，从上到下分布不均？是离子源的角度所致么

zzzz · 2009-11-11 08:30:53

如果不用离子源呢?
如果均匀则说明是离子发射角需要调整

ghtzna · 2009-11-11 18:37:00

回复 4# zzzz

是不是离子源参数的问题，正在调试，他的折射率在1。75附近么

zzzz · 2009-11-12 13:24:55

550nm 1.8
离子源参数肯定会影响到均匀性了

ghtzna · 2009-11-12 20:38:15

我抓出来600nm，1.75

要不要放氧啊
这个离子源参数beam 电流和电压要设定多少呢900，1200行么

zzzz · 2009-11-13 10:07:24

不同的工艺条件会导致不同的NK
不知道你是啥离子源,具体参数还是得自己摸

ghtzna · 2009-11-13 23:52:38

回复 8# zzzz

光驰的
现在生管也不给时间试了，不过感觉不太好用，容易打深，您用过吧

ycxmy · 2009-11-15 01:44:42

这膜料不应该打坑啊，
M3特性比较稳定，
就是价格太高了。

zzzz · 2009-11-16 08:56:29

OPTORUN的啥源/RF?
M3是混合物,蒸的不好可能一致性会有问题

ghtzna · 2009-11-16 18:49:19

回复 11# zzzz

RF 不知该怎么搞了