flatness为什么以lambda为单位? 

2009-11-25 09:06:07 | 显示全部楼层 | 阅读模式
1. flatness为什么以lambda为单位? 不是经常用I-unit为单位吗?
2. 面型精度为什么也用lambda为单位?
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badan
2009-11-25 12:35:05
不同波长对面型精度的要求是直接和波长相关的，波长越短，要求越高，因此用波长来表示面型精度会比较方便一些。
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2009-11-25 23:13:20
加油啊，多谢关照，新手一个，多学习
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