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用光阑减小光束反倒会增加聚焦光斑的直径,且光阑边缘产生的衍射现象会导致最终的聚焦光斑能量呈现贝塞尔曲线状的分布,与理论上的瑞利斑相去甚远。但如果是用于刻线或是达标,此影响不会很明显。一般普通聚焦镜都会给出最大通光口径下能会聚的最小光斑值。F-theta镜则会给出一个公式让你来计算最小光斑值,此公式与M2,波长,K系数成正比,与光束直径成反比。此外对激光来说都会有一定的发散,激光经扩束镜后其发散角为原有角度除以扩束倍率。一般扩束镜都有发散角可调功能,楼主可利用远场与近场光斑来调节光束的平行度,以达到最佳聚焦效果。 |
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